uvsuper

Ny teknologi skal revolutionere kontrol af fremtidens mikrochips

Et nyt forskningsprojekt vil via revolutionerende ny teknologi sikre optimal kontrol af og længere levetid på de halvleder-mikrochips, der sidder i bl.a. computere og mobiltelefoner til stor gavn for dansk industri.

Den halvleder-mikrochip, der sidder i din computer, din mobil eller din elbil, bliver mindre og mindre og kraftigere og kraftigere.

Men hvis den skal kunne bruges i mange år uden at gå i stykker, stiller det store krav til kvaliteten af hele processen omkring fabrikationen af chippen og især også den efterfølgende kontrol af chippen.

Chippen kontrolleres via kraftigt laserlys. Hurtigere chips kræver flere og mindre komponenter på chippen, og kontrollen af de mindre komponenter forudsætter lys med kortere bølgelængde. Dette kræver ny teknologi, da standardmaterialer degenererer, når de udsættes for sådant lys over længere tid.

I det nye forskningsprojekt under navnet UVSUPER, som Innovationsfonden investerer 10 mio. kr. i, går forskere og virksomheder sammen om at udvikle en revolutionerende ny såkaldt supercontinuum teknologi.

Den nye teknologi vil danne ultraviolet laserlys, der ligesom solen vil dække et bredt område af ultraviolette farver, men være en million gange kraftigere end solen og derved være ideel for inspektion af de mindste detaljer på en chip.

Til gavn for dansk forskning og industri
- Med dette samarbejde vil NKT Photonics kunne være med til at udvikle en ny spændende teknologi, som kan åbne vejen for applikationer inden for halvlederindustrien, der er svært tilgængelige med vores nuværende løsninger. Derudover er projektet med til at styrke vores bånd til førende danske R&D miljøer, siger Principal Research Scientist, Peter M. Moselund, fra NKT Photonics.

- Den ultraviolette laser udviklet i UVSUPER vil gøre det muligt for Dansk Fundamental Metrologi A/S at tilbyde højkvalitets kontrol og udmåling af endnu mindre strukturer end hidtil og derved endnu bedre kunne understøtte den voksende del af dansk industri, der gør brug af nanostrukturer inden for bl.a. halvlederfabrikation, selv-rensende overflader, anti-refleks overflader og tyndfilm med strukturerede farver, siger teamleder Jan Hald fra DFM.

De involverede parter forventer at kunne udvikle laseren i løbet af de næste tre års tætte samarbejde.

- Det er, når viden og forskning kombineres med praksis og kunnen, at vi udnytter samarbejdet mellem universiteter og industri optimalt, siger professor Ole Bang fra DTU Fotonik, som er projektleder i UVSUPER.

Fakta
Om projektet

UVSUPER er baseret på, at nutidens fiber lasere bruger glasfibre, der degenererer, når de udsættes for kraftigt ultraviolet lys i længere tid.

Ved brug af specielle hulkerne fibre fyldt med ædelgasser ved højt tryk kan laserlyset dannes i den hule kerne med næsten ingen overlap med det omkringliggende glas og derved undgås degradering.

Da gasserne, selv ved højt tryk, er mindre effektive end glas til at danne de krævede ultraviolette farver, må forskerne så til gengæld bruge pumpe lyskilder med korte og kraftige pulser.

Investering

Program: Grand Solutions

Innovationsfondens investering: 10 mio. kr.

Samlet budget: 14 mio. kr.

Varighed: 3 år

Titel: UVSUPER - Ultra-violet supercontinuum sources and pulsed lasers for the semiconductor industry

Kontakt

Ole Bang, professor, DTU Fotonik
Tlf: 27 21 38 05, Mail: oban@fotonik.dtu.dk

Peter M. Moselund, project manager, NKT Photonics A/S
Tlf: 51 92 14 92

Jan Hald, teamleder, Dansk Fundamental Metrologi A/S
Tlf: 22 70 14 83

Jens Bomholt, presse- og mediechef, Innovationsfonden
Tlf: 61 90 50 45, Mail: jens.bomholt@innofond.dk